第644章 空气里全是“拦路虎”
“这……这怎么可能?”
负责操作的研究员,看着显微镜下的景象,整个人都傻了。
为了这次实验,他们已经做了最充分的准备。
整个房间,在实验前,用消毒水和酒精,擦洗了三遍。
所有的实验人员,都换上了白大褂,戴上了口罩和帽子。
在他们看来,这已经是他们能做到的,最干净的环境了。
可结果,依旧如此。
消息传到801项目组的每日例会上,所有人一下子没了声音。
“我去看过现场了。”
化工所的负责人,一个五十多岁的老教授,一脸的无奈。
“我们用高倍显微镜观察了一下,发现落在硅片上的灰尘,尺寸从几微米到几十微米不等。”
他顿了顿,说出了一个更令人绝望的数据。
“而我们第一代光刻机,要加工的线宽,是10微米。”
换言之,空气中随处飘荡的一粒微小灰尘,它的尺寸,就可能比他们要制造的整个电路,还要大。
“这些灰尘,落在硅片上,就像在高速公路上,扔了一块大石头。”
林振替他做了总结。
“如果是在光刻胶下面,它会导致光刻胶凸起,曝光失真,形成针孔。”
“如果是在光刻胶上面,它会挡住光线,导致下面的光刻胶无法曝光,形成断线。”
“无论是哪一种,结果都是灾难性的。”
“我们甚至还没开始跑,就已经被这些看不见的拦路虎,给绊倒了。”
一个年轻的研究员,沮丧的说道。
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